手術室凈化濕度過產生的問題多。相對濕度過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清 除。相對濕度越,粘附的難去掉，但當相對濕度30時，又由于靜電力的使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產較佳溫度范圍為35—45。